PUM 非接触式深度测量工具显微镜

一、产品介绍

Photon系列PUM工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜，被广泛地运用在高精度测量的工业领域，如半导体行业、MEMS、磁头元件、电子元件、精密部件等。其X、Y、Z工作台行程由100＊75mm到大行程400＊200mm，X、Y轴的精度为3.5+L/50um，Z轴精度为5um，显示精度为1um。

①     采用95mm低景深长工作距离镜头，可以充分保证Z轴精度和舒适的测量空间。物镜倍率有5X、10X、20X、50X具体参数如下：

②     为保证测量精度PUM万能工具显微镜采用进口载物台，搭载美国高精度ACU-Rice光学尺，保证了优秀的解析度。平台规格有100x75、200x100、300x100、400x200可选。

③     PUM的QC200数据计数器的最小读数可以从0.001mm到0.0001mm按需要选择，以满足不同精度的测量要求。QC200还配有打印机接口可以与打印机相连实现数据实时打印输出。

④     PUM工具显微镜采用高档的精微动调焦系统，策调精度为1um/格。从而充分保证了Z轴测量的精度。

⑤     根据需要PUM万能工具显微镜还可以搭配AIM测量软件扩展测量功能，可以对点、线、圆、孤等基本参数进行便捷测量。

二、适用领域

PUM万能工具显微镜在半导体封装测试行业，我们一般需要测试的参数有引线框架的高度、深度、圆半径、毛刺、邦定线的线高、线宽、Wafer上台阶高度等技术指标。PUM万能工具显微镜的最大亮点是Z轴测量精度。它的精度是5um重复精度可达3um。特别适用于引线框架技术参数的量测。

PUM万能工具显微镜

作的舒适性

    数字成像和影像处理测量技术

    非接触Z轴高度测量

    与数据处理系统的协同工作

    低倍率到高倍率轻松搞定

    多种照明的选择总有一款能够辨清最细微的差别

P/N	Item	N.A.	W.D. mm	Focal Length mm	Resolution μm	Depth of Focus μm	Field of View mmΦ24Eyepiece
APO2X	2X无穷远超长工作距物镜	0.05	34.6	80	4	18	Φ10.7
APO5X	5X 无穷远超长工作距物镜	0.13	34	40	2	14	Φ4.8
APO10X	10X 无穷远超长工作距物镜	0.29	31	20	1	3.5	Φ2.4
APO20X	20X 无穷远超长工作距物镜	0.42	20.3	10	0．7	1.6	Φ1.2
APO50X	50X 无穷远超长工作距物镜	0.55	13	4	0．5	0.9	Φ0.4